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真空泵是通过机械、物理、化学等多种方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件设备。真空泵的工作原理可以分为气体捕集泵和气体传输泵两种类型,真空泵常见抽取真空技术可分为机械法和物理法。


一、机械法


1、变容真空泵,是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的。这种泵分往复式、旋转式两种。


2、动量传输泵,它依靠高速旋转的叶片或高速射流,把动量传输给气体或气体分子,使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。分子真空泵水蒸汽喷射泵、扩散泵属于这一类。


二、物理法


气体捕集式真空泵是一种使气体分子被吸附或凝结在泵内表面上的真空泵,有以下几种形式:


1、吸附泵。依靠具有大表面积的吸附剂(如多孔物质)的物理吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵。


2、吸气剂泵。它是一种利用吸气剂以化学方式捕获气体的真空泵。吸气剂通常是以块状或沉积新鲜薄膜形式存在的金属或合金。


3、吸气剂离子泵。它是使被电离的气体通过电场或电磁场的作用吸附在吸气材料的表面上,以达到抽气的目的。它有如下两种形式。


a、蒸发离子泵:泵内被电离的气体吸附在以间断或连续方式升华(或蒸发)而覆在泵内壁的吸气材料上,以实现抽气的一种真空泵。


b、溅射离子泵:泵内被电离的气体吸附在由阴极连续溅散出来的吸气材料上以实现抽气目的的一种真空泵。


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